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    產品中心

    PRODUCTS

    AS200系列氣體質量流量控制器
    技術參數

    流量規格

    (Air、O2、N2

    (1~100,2~200,3~300) SCCM

    (0.03~3,0.05~5,0.1~10,0.2~20,0.3~30,0.5~50,1~100,2~200) SLM

    流量規格

    (Ar、CO2

    (1~100,2~200,3~300) SCCM

    (0.03~3,0.05~5,0.1~10,0.2~20,0.3~30,0.5~50,1~100) SLM
    線性 ±0.5%F.S.
    重復精度 ±0.2%F.S.
    響應時間 1sec;≤2sec
    準確度

    ±1.0%S.P.(≥35%F.S.)

    ±0.35%F.S.(<35%F.S.)

    ±1.0%F.S.

    工作環境溫度 5~45℃
    電源
    +15~ +28 VDC 
    重量 約0.95Kg;2.56Kg
    產品說明書下載

    一、產品簡介

    AS200系列氣體質量流量控制器,適用于多種常規氣體,提高了氣體質量流量控制測量結果的準確度及可靠性。重復精度高達±0.2%F.S.;1×10 -10 Pa·m3 /sec He的低泄露率,氣密性好,保障生產安全;可支持多種信號輸出,包括數字信號、1~5V 模擬信號以及4~20mA模擬信號,可以使用單電源(+15~+28 VDC),適用于不同的工作場景;標準開放的通訊協議為客戶自行開發控制、采集軟件提供便利;同時,產品還提供功能強大的免費客戶端上位機軟件,方便用戶調試操作。 

    AS200系列產品是奧松電子采用先進的MEMS技術研發,在傳感器的驅動,零點漂移的控制和閥控等諸多方面都采用了獨特的技術,保證了產品的高性能、高品質和高可靠性,是一款穩定性好、精度高、泄漏率低、耐壓高的優質儀器。 



    二、產品亮點

    ● 可同時支持數字信號,1~5V 或4~20mA模擬信號

    ● 使用單電源(+15~+28 VDC)

    ● 支持自動故障報警,多氣體多量程等功能


    三、應用場景

    AS200系列氣體質量流量控制器(MFC),主要用于對氣體的質量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括:集成電路工藝設備,如外延、擴散、等離子刻蝕、濺射、離子注入和各種CVD等設備;其他行業設備,如光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

    奧松官網企業店 聯系電話:020-89850036
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